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南昌大学申请光致发光光谱干涉信号剥离与本征光谱复原方法专利,提高了光谱复原准确性

2026年07月18日 22:27
 

国家知识产权局信息显示,南昌大学、南昌实验室、南昌硅基半导体科技有限公司申请一项名为“一种光致发光光谱的干涉信号剥离与本征光谱复原方法”的专利,公开号CN122171502A,申请日期为2026年3月。

专利摘要显示,本申请属于光学测量与半导体表征技术领域,具体涉及一种光致发光光谱的干涉信号剥离与本征光谱复原方法,包括:对原始光致发光光谱进行折射率色散补偿,将波长域光谱转换至等效波数域进行重采样;随后进行傅里叶变换,获取幅度谱与相位谱,并提取干涉特征参数;构建干涉信号剥离模型,交替迭代优化本征发光幅度谱和干涉强度系数;将优化后的本征发光幅度谱与原始相位谱组合并进行傅里叶逆变换,得到复原的本征发光光谱。本发明适用于较薄薄膜光致发光光谱中的干涉信号剥离与光谱复原。本发明解决了较薄薄膜中干涉与本征信号频谱混叠导致的复原失真问题,在去除干涉条纹的同时保留本征光谱的峰位、线型和强度,提高了光谱复原准确性。

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